Kurzbeschreibungen

Elektrische Charakterisierung von CNTFETs

(5,5)-CNT

Im Rahmen dieser Bachelorarbeit aus dem Bereich der Prozesskontrolle und Messtechnik sollen prozessbegleitend elektronische Bauelemente auf Basis von Kohlenstoffnanoröhren charakterisiert werden. Der nötige Messplatz mit Waferprober und PC-gesteuerter Messelektronik ist vorhanden und einsatzbereit.

Voraussetzungen / absolvierte Lehrveranstaltungen:

  • selbstständiges und strukturiertes(!) Arbeiten
  • zuverlässige Erledigung der Messungen
  • grundlegende Fähigkeiten im Umgang mit Waferprobern
  • Kenntnisse in Charakterisierung von Feldeffekt-Transistoren
  • Vorlesung Halbleiterbauelemente
  • Praktikum Messtechnik

Details:

 

Aufbau und Inbetriebnahme eines elektrischen Messplatzes für nanoelektronische Bauelement

Prober

Aufbau eines elektrischen Messplatzes mit Messgeräten aus einer großzügigen Spende der Firma Infineon Technologies (München).

Halbautomatische Waferprober und Messgeräte sind am IHTN vorhanden. Die Ansteuerung der Geräte erfolgt über LabView und GPIB-Schnittstellen, erste Erfahrungen mit LabView sind daher wünschenswert.