News-Archiv 2007

10th Annual Workshop on Semiconductor Advances for Future Electronics and Sensors

29.-30.11.2007, Eindhoven, Netherlands

International Conference on Planarization Technology 2007

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25.-26.10.2007, Dresden, Germany

212th Meeting of the Electrochemical Society

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07.-12.10.2007, Washington, USA

International Conference on Solid State Devices and Materials 2007

SSDM2007-Logo

18.-21.09.2007, Ibaraki, Japan

ALTECH 2007 ECS Satellite Symposium

13.-14.09.2007, Munich, Germany

Euromat 2007

Euromat2007-Logo

13.-14.09.2007, Nuremberg, Germany

Neue Geräte in Betrieb genommen

Messstation

August 2007 – Am Institut für Halbleitertechnik wurden zwei im Rahmen des BMBF-Verbundprojekts MEGA EPOS beschaffte Geräte in Betrieb genommen. Hierbei handelt es sich um ein Oberflächenprofilometer Dektak 8 der Firma Veeco Instruments sowie ein Halbleitercharakterisierungsystem SCS 4200 der Firma Keithley.

Das Oberflächenprofilometer wird hauptsächlich zur zerstörungsfreien und schnellen Kontrolle unterschiedlicher Prozesse wie Lithographie oder chemisch-mechanisches Polieren (CMP) eingesetzt. Das auf einem Vibrationsisolationstisch installierte Gerät verfügt über einen elektrisch drehbaren Tisch mit autoleveling und weißt eine maximale Scanlänge von 200mm bei einer lateralen Auflösung von wenigen Nanometern auf, die nur durch den vibrationsarmen Standort im Sockelgeschoss des Instituts ermöglicht wird. Weiterhin sind Messungen von mechanischem Stress beispielsweise nach Schichtabscheidungen möglich.

Das Halbleitercharakterisierungssystem verfügt über insgesamt 6 Messkanäle mit Vorverstärkern in direkter Nähe zu den Probernadeln, eine Erweiterung mit Pulsgenerator und 2-Kanal-Oszilloskop zur Pulsmessung (beispielsweise Charge-Pumping-Messungen) und einem umfangreichen Softwarepaket.

Tag der Technik

Hier finden Sie Bilder und Impressionen vom Tag der Technik des Fachbereichs Elektrotechnik- und Informationstechnik am 16.06.2007 und den damit verbundenen Führungen durch die Reinräume und Labore des Instituts für Halbleitertechnik. weiter

Fotoshooting für WI-Studienführer im Reinraum

Foto-Shooting

Im Reinraum des Instituts für Halbleitertechnik fanden am 15.06.2007 vor technologiereicher Kulisse Fotoaufnahmen mit professionellem Team für den neuen Studienführer der Wirtschaftsingenieure der TU Darmstadt statt.