Das Institut für Halbleitertechnik und Nanoelektronik befindet sich in der Schloßgartenstraße 8 in direkter Nähe zum Prinz-Georgs-Garten und dem Herrngarten in der Mitte Darmstadts.
Einen Überblick über die Geschichte und die Forschungstätigkeiten des Instituts gibt die Informations-Broschüre „Das Institut für Halbleitertechnik und Nanoelektronik“.