Werner Langheinrich

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Prof. Dr. em. Werner Langheinrich

+49 6151 16-20675

Schloßgartenstraße 8
64289 Darmstadt

Raum: S2|17 232

Forschungsschwerpunkte

Auf dem Gebiet mikroelektronischer Bauelemente und mikroelektromechanischer Systeme mit den Bereichen:

  • Simulation, Entwurf, Herstellung. Die Forschung ist herstellungs-technologie-orientiert.
  • Mitglied im DFG-Sonderforschungsbereich 241 „Integrierte mechanisch-elektronische Systeme für den Maschinenbau“.
  • Mitglied im DFG-Graduierten-Kolleg „Intelligente Systeme für die Informations- und Automatisierungstechnik“.

Kurzbiographie

Werner Langheinrich promovierte 1967 an der Technischen Universität Stuttgart mit einer Arbeit über „Emissions- und Absorptionsspektroskopische Untersuchung innermolekularer Wasserstoffbrücken und prototroper Gleichgewichte“. Seine Nebenfachausbildung in Metallurgie am dortigen Institut für Metallkunde/Max-Planck-Institut für Metallforschung führte zum Eintritt in das Forschungsinstitut der Telefunken GmbH in Ulm. Dort wurde er mit der Untersuchung der Diffusion des Dotierstoffes Phosphor im damals gerade zur technischen Reife entwickelten Halbleitermaterial Silizium aktiv. In seiner Gruppe, welche 1977 die gesamte Siliziumtechnologie der AEG-Telefunken-Forschung umfasste, wurde zuletzt ein N-Kanal-Silizumgate-Prozess für ein 4 K-Bit-RAM erarbeitet und erprobt. In diesem Jahr nahm er einen Ruf an die TU-Darmstadt an. Dort setzte er das interdisziplinäre Arbeiten auf diesem Gebiet fort mit der ersten Dissertation „Analoge zeitkontinuierlicher Filter in NMOS Technologie“ (Verfasser G.Tröster, jetzt Leiter des Instituts für Elektronik der ETH Zürich). Nach Arbeiten zur Untersuchung einer CMOS-Technologie für tiefste Temperaturen für den Satelliten ISO (Infrared Span Observatory) hat er seine Arbeiten in den letzten Jahren auf das Gebiet der Mikrosystemtechnik ausgeweitet. Neben eigenen Arbeiten über einen integrierten Druck- und Temperatursensor ist hier eine in Kooperation mit der Fa. Bosch durchgeführte Arbeit zum packaging von integrierten Drucksensoren zu erwähnen und innerhalb der TU Darmstadt die Kooperation mit dem Fachgebiet Elektroakustik (Prof. Sessler), dessen Design zahlreicher akustischer Sensoren technologisch unterstützt wurde. Letzte eigene Arbeiten betreffen ein berührungsloses Drehmomentsystem, mit dessen Entwicklung im Rahmen des SFB 246 „Neue integrierte mechanisch-elektronische Systeme für den Maschinenbau“ begonnen wurde.

Mitgliedschaften:

  • Fachbereichsrat der Elektrotechnik – Vorsitz FB 19 1983/84
  • Gründungsfachbereichsrat für die Materialwissenschaft FB 21
  • Bauausschuss der TU Darmstadt
  • Kuratorium Karl-Küpfmüller-Ring – Vorsitz 1996-1999
  • VDE, Verband der Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik
  • ECS, The Electrochemical Society, USA

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