Arno Kostka

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Prof. Dr. i.R. Arno Kostka

+49 6151 16-20675

Schloßgartenstraße 8
64289 Darmstadt

Raum: S2|17 232

Forschungsschwerpunkte

Halbleiterbauelemente

Aufbau, Funktion und Modellierung der monolithisch integrierten Bauelemente in den verschiedenen Varianten der Siliziumtechnologie:

  • technologische und strukturelle Varianten der integrierten Bauelemente
  • mehrdimensionale skalierbare analytische Bauelementmodelle
  • strukturabbildende statische und dynamische Kompaktmodelle für die Netzwerkanalyse
  • thermische und elektrothermische Modelle
  • Entwurf und Parametrisierung von Modellen für erweiterte Einsatzbedingungen (hohe Frequenzen, Spannungen, Leistungen, Temperaturen)
  • Anwendungsbeispiele: laterale Bipolartransistoren, Submikron- MOSFETs, laterale und vertikale DMOS-Leistungsbauelemente und IGBTs, Smart-Power-Module.

Halbleiterschaltungstechnik

Technologienaher Entwurf von monolithisch integrierten Analog/Digitalschaltungen in Kombinationstechnologien und für erweiterte Einsatzbedingungen:

  • UHF-, ECL- und I2L-Schaltungen
  • Komplementäre Bipolarschaltungen für hohe Frequenzen
  • CMOS-Schaltungen für hohe Temperaturen
  • BCDMOS-Schaltungen für hohe Leistungsdichten und hohe Umgebungstemperaturen
  • Anwendungsfelder: Kommunikationstechnik, Automobilelektronik

Halbleitertechnologie

Prozessführung, -integration, -simulation und spezielle Aspekte der Siliziumtechnologie, z. B.:

  • Ionenimplantation, Oxidation und Oxidqualität, Prozessqualifikation
  • vertikale Komplementär-Bipolartechnologie für UHF-Anwendungen
  • Struktur- und Technologievarianten für integrierte Leistungsbauelemente
  • Raumtemperatur-Photolumineszenz und Lebensdauern in Silizium

Kurzbiographie

Geburtsdatum / -ort: 02.12.1941 / Heilbronn

Staatsangehörigkeit: deutsch

Familienstand: verheiratet, 2 Kinder

Schule, Aus- und Weiterbildung

1960-65: Studium der Physik an den Universitäten Tübingen (dort 1963 Diplom-Vorprüfung) und Heidelberg

1965: Diplom-Hauptprüfung, Diplomarbeit: Streuexperimente am Heidelberger Zyklotron

1965-67: Stipendiat am MPI für Metallforschung, Stuttgart. Forschungsprojekt: Dünne hartmagnetische Schichten

1970-73: externer Doktorand des MPI für Kernphysik, Heidelberg. Experimente zur Hochenergie-Ionenimplantation in Silizium

1973: Promotion zum Dr. rer. nat. an der math.-nat. Fakultät der Universität Heidelberg. Dissertation über ein integriertes Teilchenzählerteleskop

Beruflicher Werdegang: Industrie

1967-80: AEG-Telefunken, Geschäftsbereich Halbleiter, Funktionsbereich Entwicklung, Heilbronn

1967-70: techn.- wiss. Sachbearbeiter: gesamte Halbleitertechnologie, Transistorentwicklung

1970-73: Leiter der Entwicklergruppe 'Physikalische Technologie'. Ionenimplantation, Anwendungen in MOS- und Bipolartechnologie

1973-80: Leiter der Entwicklungsabteilung 'Technologie Integrierter Schaltungen'. GHz-Technologie für bipolare ICs und Tuner-MOSFETs, I2L-Technologie und -Schaltungen, Mixed-Mode-ASICs ,UHF- und Videotransistoren. Während dieser Zeit Leitung mehrerer großer industrieller Projekte und Programme der staatlichen Technologieförderung (AEG/BMFT/BMVg).

Beruflicher Werdegang: Industrie

seit 1980: Technische Hochschule Darmstadt, Professur für Halbleitertechnik, Fachbereich Elektrotechnik: Forschung und Lehre auf den Gebieten Halbleitertechnologie, Halbleiterbauelemente und Halbleiterschaltungstechnik

1981, 1987-88, 1999-2002: Geschäftsführender Direktor am Institut für Halbleitertechnik und Nanoelektronik

1985-87: Dekan des Fachbereichs 'Regelungs- und Datentechnik'

1990-92: Vertreter der TH Darmstadt im Fakultätentag Elektrotechnik

1993 und 1997: Gastforscher an der Ecole Centrale de Lyon: Photolumineszenz an Si

1996, 1998, 1999: Forschungsaufenthalte am CEERI, Pilani, Indien: Si-Technologie, integrierte Leistungsbauelemente

2001: Gastwissenschaftler an der Ligong-Universität, Dalian, China

Verbände und Ausschußarbeit

Mitglied im VDE/VDI (ITG, GME und FWT), in der DPG und im IEEE

1977: Arbeitsgruppe 'Synchrotronstrahlung' beim BMFT

seit 1979: Fachausschuß 'Maskentechnik' der VDI/VDE-Gesellschaft Feinwerktechnik und Mikroelektronik

1979-82: Arbeitsgruppe 'Technologie' des VDE-NTG-Ausschusses 'Großintegration'

seit 1986: Fachausschuß 5.3 'Halbleiter-Bauelemente' der ITG im VDE

seit 1992: Fachausschuß 5.1 'Halbleiter-Technologie' der ITG im VDE

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