Gerhard Tzschöckel

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Dipl.-Ing. (FH) Gerhard Tzschöckel

+49 6151 16-5131
+49 6151 16-20675

Schloßgartenstraße 8
64289 Darmstadt

Raum: S2|17 39

Aufgabengebiete

  • Hochtemperaturprozesse: Temperungen, Oxidation, Diffusion
  • CVD-Prozesse: Epitaxie, Poly-Silizium, CVD-Nitrid, Pyrox, Phosphorglas
  • Plasmaätzen
  • Betreuung von Studenten, Betreuung von Praktikumsversuchen
  • Reparatur und Wartung der zu meinem Bereich gehörenden Anlagen

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