Gisela Heß

Profilbild Hess

Dipl.-Ing. (FH) Gisela Heß

+49 6151 16-23348
+49 6151 16-20675

Schloßgartenstraße 8
64289 Darmstadt

Raum: S2|17 33

Aufgabengebiete

  • Nasschemie: Reinigungsverfahren und Ätzungen
  • Fotolithographie: Positiv-, Negativ- und E-Beam Resists
  • Plasmaabscheidung dielektischer Schichten (PECVD-Oxid, -Nitrid, -Oxinitrid)
  • Optimieren von Prozessen z.B. für Reinigung, Fotolithographie, Plasmaabscheidung
  • Untersuchung neuer Materialien (z. B. high k-Schichten) auf chemische Beständigkeit, sowie Ätzratenbestimmungen
  • Beratung von Studenten
  • Praktikum: Versuch Fotolithographie

Sonstige Aufgabengebiete

  • Sicherheitsbeauftragte

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