Räume und Labore

Räume und Labore im IHTN

Das Institut für Halbleitertechnik und Nanoelektronik verfügt neben den Büros für wissenschaftliche und technische Mitarbeiter über Speziallabore und ca. 350m2 Reinraumfläche.

Erst die ruhige Lage am Prinz-Georgs-Garten, fernab von starken Schwingungsquellen wie Schwerverkehr und Straßenbahnen, ermöglicht ein Arbeiten im Nanometerbereich, beispielsweise bei der Elektronenstrahllithographie und der Rastersondenmikroskopie. Bereits beim Bau des Gebäudes in den 30er Jahren des letzten Jahrhunderts wurde auf größtmögliche Störungsfreiheit geachtet. Die auf der Straßenseite zur Schloßgartenstraße liegenden Fenster wurden vorausschauend als Doppelfenster ausgeführt. Alle lärmintensiven Anlagen, wie Werkstätten, elektrische Maschinen und Aufzüge wurden möglichst weit von den störempfindlichen Messlaboratorien entfernt angeordnet. Zwischen den senkrecht zueinander liegenden Gebäudetrakten wurde zur Verhinderung von Schallübertragung eine mit Kork verfüllte Trennfuge eingepasst. Mit Korkschichten sind auch sämtliche Maschinenfundamente im Maschinenraum und in der Werkstatt vom übrigen Gebäude isoliert. Um eine optimale Störungsfreiheit zu gewährleisten, ging man sogar so weit, das Wasserleitungssystem des Instituts vom städtischen Rohrnetz abzukoppeln, um den Wasserdruck zu reduzieren. Ein auf dem Dachboden stehender Behälter speiste einst die Institutsleitungen. Im Sockelgeschoss wurden im Fußboden mehrere Lagen Tabakblätter verwendet. Dies war damals das günstigste Isolationsmaterial und stammte aus der Nähe von Mannheim und aus der Pfalz. Heute profitiert das Institut für Halbleitertechnik und Nanoelektronik von der damaligen Finanznot – die Räume im Sockelgeschoss sind besonders vibrationsarm, und daher sind empfindliche Anlagen wie Elektronenstrahlschreiber und Rastersondenmikroskop dort zu finden.